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UMCi 12吋晶圓廠持續進駐新設備 估計2004年底前總投資將達美金12億元 聯電主導的新加坡12吋合資晶圓廠UMCi今日(21日)正式宣佈展開第二階段廠區設備進駐。UMCi的最近一次董事會決議，購入配合現有銅製程後段機台設備的前段製程設備，建立完整的生產線。UMCi現有的機器設備已產出與聯電位於台南的12吋晶圓廠Fab12A之良率及缺陷密度(defect density)相當的晶圓。 UMCi的累計投資額於2003年底將達5億美金，預計至2004年底總投資額將達美金12億元，產能將約為每月10,000片12吋晶圓的水準。 擁有最先進之90奈米製程設備的12吋晶圓廠UMCi將採全方位自動化系統和單一晶圓製程(single wafer processing)以追求最高的生產效率。UMCi是聯電繼12A晶圓廠後興建的第二座12吋晶圓廠，目前正進入客戶產品的量產階段。近日UMCi產出數批採用其後段銅製程設備所生產的晶圓，其高良率與聯電Fab12A的生產水準相比毫不遜色。完整生產線的裝機預計將於明年元月完成。 聯電執行長胡國強先生表示：結合90奈米製程技術及高度自動化的12吋晶圓生產設施來製造晶圓，將遠較前一代製程提升數倍的生產力及成本效益。事實上，根據部分客戶的估計，此舉將使一片12吋晶圓上的產出晶片與先前以130奈米製程生產的8吋晶圓相比，高達5倍的數量。聯電於12吋晶圓的製造向為業界翹首，我們期待當UMCi邁入量產後，能將12吋晶圓結合90奈米製程的優勢分享給客戶。聯電很榮幸能成為以12吋晶圓廠，跨入90奈米製程的全球先驅。
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