由聯電、德國億恆半導體 (Infineon) 及新加坡經濟發展局 (EDBI) 共同於新加坡合資成立之 12 吋晶圓廠 UMCi,今天宣佈位於新加坡白沙晶片園 (Pasir Ris Wafer Park) 之該廠下階段重要施工廠商名單,UMCi 一個半月前才舉行上樑典禮,是晶圓廠建廠重要里程碑,預計明年第一季完工。 此次參與施工廠商如下: 凱能高科技工程 (Huflux Hydrochem) 負責廢水處理,美威淨達 (M + W Zander) 負責潔淨室系統,新加坡氧氣液態氣體 (SOXAL) 負責 gas yard 與全部氣體供應,住友化學工程 (Sumitomo) 負責中央化學供應系統,威望迪水系統 (Vivendi) 負責供應純水。 UMCi 總經理季克非說:我們經過審慎評估選出這些廠商,其在不同專業領域的經驗是有目共睹的,目前 UMCi 正全力依照進度施工,相信會如期完成。 此次合約總計六千八百萬美金,是整個晶圓廠完工前的重要階段,UMCi 預計明年第二季量產,規劃中每月量產四萬片 12 吋晶圓,製程以 130 奈米及 90 奈米銅 / 低介電值先進製程技術為主。 |
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