聯華電子與美國 Numerical 公司今 (15) 日宣佈為因應晶圓專工邁向 90 奈米製程，聯電延續與 Numerical 公司的授權協議。雙方除了繼續 1999 年開始的合作研究及促進 100 奈米以下的積體電路製程技術發展外，此三年協議亦延續雙方在 2000 年 12 月開始的授權合作關係。Numerical 公司為提供半導体業界次波長微影技術 (subwavelength lithography-enabling technology) 的領導供應商。

聯電副總經理李俊德博士表示：我們與 Numerical 公司的合作克服了生產次波長積體電路的挑戰而相互受益，也因此延續了雙方在 90 奈米 (含) 以下的技術合作關係。我們期望 Numerical 的階段轉移技術將會提供給聯電客戶在先進製程技術中得到極大的益處。

聯電的 90 奈米製程技術預計在今年第二季試產，也與客戶如美商智霖 (Xilinx) 公司完成合作 90 奈米的測試晶片 (請參考 http://www.umc.com/english/news/2002/20021216.asp)。 聯電未來將持續評估及投資於下一代先進製程技術

Numerical 公司負責全球行銷的副總經理 Atul Sharan 表示：Numerical 將持續提供聯電先進技術，以最短週期及最佳成本效益的方法，來完成客戶的晶片。基於雙方過去兩年的合作基礎，此協議更強化了雙方的長期合作關係，對未來技術發展非常有益，因此我們將全力支援聯電共同邁向 100 奈米以下的製程。

Numerical 的階段轉移技術是市面上唯一應用於積體電路的階段轉移技術。此技術在研究環境中製造電晶體 (transistor) 可達到 9 奈米；這是世界上最小的電晶體採用 248 奈米的平版刻法設備。除了階段轉移技術以外，聯電也將採用 Numerical 公司的 Virtual StepperR 光罩認證軟體作為標準生產流程的一部份。

Numerical Technologies, Inc., the world's leading provider of subwavelength lithography-enabling technology, develops and markets proprietary technology, software tools and services that enable the production of subwavelength integrated circuits (ICs)-ICs with feature sizes that are smaller than the wavelength of light used to create circuit patterns on silicon. Numerical's products and industry alliances form a comprehensive design-to-silicon solution that enables the creation of smaller, faster and more power-efficient ICs using available manufacturing equipment. Numerical's customers include the world's top semiconductor companies, design automation tool vendors, semiconductor equipment suppliers and photomask manufacturers. Additional information about the company is available on the Web at http://www.numeritech.com