聯電主導的新加坡 12 吋合資晶圓廠 UMCi 今日 (21日) 正式宣佈展開第二階段廠區設備進駐。UMCi 的最近一次董事會決議,購入配合現有銅製程後段機台設備的前段製程設備,建立完整的生產線。UMCi 現有的機器設備已產出與聯電位於台南的 12 吋晶圓廠 Fab12A 之良率及缺陷密度 (defect density) 相當的晶圓。 UMCi 的累計投資額於 2003 年底將達 5 億美金,預計至 2004 年底總投資額將達美金 12 億元,產能將約為每月 10,000 片 12 吋晶圓的水準。 擁有最先進之 90 奈米製程設備的 12 吋晶圓廠 UMCi 將採全方位自動化系統和單一晶圓製程 (single wafer processing) 以追求最高的生產效率。UMCi 是聯電繼 12A 晶圓廠後興建的第二座 12 吋晶圓廠,目前正進入客戶產品的量產階段。近日 UMCi 產出數批採用其後段銅製程設備所生產的晶圓,其高良率與聯電 Fab12A 的生產水準相比毫不遜色。完整生產線的裝機預計將於明年元月完成。 聯電執行長胡國強先生表示:結合 90 奈米製程技術及高度自動化的 12 吋晶圓生產設施來製造晶圓,將遠較前一代製程提升數倍的生產力及成本效益。事實上,根據部分客戶的估計,此舉將使一片 12 吋晶圓上的產出晶片與先前以 130 奈米製程生產的 8 吋晶圓相比,高達 5 倍的數量。聯電於 12 吋晶圓的製造向為業界翹首,我們期待當 UMCi 邁入量產後,能將 12 吋晶圓結合 90 奈米製程的優勢分享給客戶。聯電很榮幸能成為以 12 吋晶圓廠,跨入 90 奈米製程的全球先驅。 |
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