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MEMS

  • Introduction
  • Differentiation
  • MEMS 微機電系統技術解決方案

    聯華電子提供 8 吋廠製造產能以及完備技術支援,已有麥克風、慣性感測器、壓力感測器及環境感測器 (溫、溼度計,氣體感測器) 等的 MEMS 產品獲得亮眼成果。目前 MEMS 出貨已超過數十萬片。

    為了迎合 MEMS 市場今後的需求,聯電已建立了一系列 MEMS 製程模組,例如 Si/SiO2 DRIE、Si/SiO2 release、stress controllable SiN/Poly-Si、wafer thinning、ion beam etch、double side aligner 等等,協助客戶在 CMOS 晶圓專工廠內生產 MEMS 結構。許多客戶業已透過這些解決方案,將多種不同 MEMS 裝置推出問市。

    此外,為了進一步推動此龐大的終端市場,聯電拓展與業界夥伴的合作關係,並持續投資於具競爭力的製程技術,同時經由上下游夥伴攜手,健全 MEMS 供應鏈環境。在日益蓬勃的 MEMS 感測器市場中,協助推出新應用產品。隨著 MEMS 市場持續發展的新趨勢,聯電有充分準備,放眼未來以加速設計到晶片產出的學習曲線。