MEMS

聯華電子提供 8 吋廠製造產能以及完備技術支援，已有麥克風、慣性感測器、壓力感測器及環境感測器 (溫、溼度計，氣體感測器) 等的 MEMS 產品獲得亮眼成果。目前 MEMS 出貨已超過數十萬片。

為了迎合 MEMS 市場今後的需求，聯電已建立了一系列 MEMS 製程模組，例如 Si/SiO2 DRIE、Si/SiO2 release、stress controllable SiN/Poly-Si、wafer thinning、ion beam etch、double side aligner 等等，協助客戶在 CMOS 晶圓專工廠內生產 MEMS 結構。許多客戶業已透過這些解決方案，將多種不同 MEMS 裝置推出問市。

此外，為了進一步推動此龐大的終端市場，聯電拓展與業界夥伴的合作關係，並持續投資於具競爭力的製程技術，同時經由上下游夥伴攜手，健全 MEMS 供應鏈環境。在日益蓬勃的 MEMS 感測器市場中，協助推出新應用產品。隨著 MEMS 市場持續發展的新趨勢，聯電有充分準備，放眼未來以加速設計到晶片產出的學習曲線。