3D IC

  • Introduction
  • 隨著 AI、高效能運算(HPC)及先進記憶體應用持續發展,晶片整合面臨更高的頻寬與密度需求,也必須在有限的封裝空間內容納更多晶粒。聯電 3D IC 技術採用晶圓對晶圓(Wafer-to-Wafer, W2W)混合鍵合,將上下晶圓直接鍵合,形成更薄且更高密度的垂直互連。在運算需求中,晶圓對晶圓堆疊可大幅度的提高傳輸頻寬。

     

    相較於傳統微凸塊(micro bump)堆疊,混合鍵合可降低晶粒間互連所占的高度,並提升垂直互連密度,有助於在有限的封裝高度內整合更多晶粒。這項優勢對高頻寬記憶體(HBM)與高頻寬快閃記憶體(HBF)尤其重要,可緩解多晶粒堆疊時,微凸塊互連高度累積所帶來的封裝高度限制。

     

    聯電的 3D IC 技術透過矽穿孔(TSV)連接多層結構,並支援 face-to-back 與 back-to-back 堆疊配置。混合鍵合不依賴微凸塊,而是透過氧化層介面將銅墊接銅墊、氧化層界面接氧化層介面各自直接鍵合,降低晶圓間的凸起高度。較低的堆疊高度有助於在相同高度限制內容納更多層,提升面積密度;更小的 pad-to-pad 間距也能實現更高的輸入/輸出(I/O)密度,對相關應用相當重要。聯電也持續開發晶圓背面薄化與重佈線層(RDL)技術,以提升封裝與互連設計的彈性。

     

    此技術適用於邊緣裝置的 AI 推論,可滿足裝置外形精巧及高頻寬存取記憶體的需求。在組裝方面,聯電可與委外封裝與測試(OSAT)夥伴合作,提供晶圓研磨、切割及其他封裝製程。透過夥伴網絡,可促進供應鏈協作,支援從技術開發到量產的各階段需求。

     

     

    聯電 3D IC 技術,實現晶片整合

    AdvPkg_3D_IC.png (121 KB)

     

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